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半導体製造装置用語辞典

日本半導体製造装置協会編. -- 第2版. -- 日刊工業新聞社, 1991. <TW00829908>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 12号館 閉 架 R/549.8/H 0010011041781 禁帯出 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 12号館
配置場所 閉 架
請求記号 R/549.8/H
資料ID 0010011041781
状態 禁帯出
返却予定日
予約 0件
WEB書棚

書誌詳細

標題および責任表示 半導体製造装置用語辞典 / 日本半導体製造装置協会編
ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
版事項 第2版
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 1991.9
形態事項 xvi,419p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4526029874
学情ID BN06743353
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 日本半導体製造装置協会
ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ <>
分類標目 NDC:549.8
ローカル分類標目 NDC:549.8
件名標目等 半導体 便覧
レコードID TW00829908