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はじめての半導体リソグラフィ技術

岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著. -- 工業調査会, 2003. -- (ビギナーズブックス ; 29). <BB00179541>
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はじめての半導体リソグラフィ技術

岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著. -- 工業調査会, 2003. -- (ビギナーズブックス ; 29). <BB00179541>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 中　央 【外部書庫】開架室 549.7/O 0010012058513 配架済 0件
0002 12号館 開架室 549.7/O 0010012062200 配架済 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 中　央
配置場所 【外部書庫】開架室
請求記号 549.7/O
資料ID 0010012058513
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
No. 0002
巻号
所蔵館 12号館
配置場所 開架室
請求記号 549.7/O
資料ID 0010012062200
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著
ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 2003.6
形態事項 305p ; 21cm
巻号情報
ISBN 4769312245
書誌構造リンク ビギナーズブックス||ビギナーズ ブックス <TW10168187> 29//a
学情ID BA62674459
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 岡崎, 信次||オカザキ, シンジ <AU00122061>
著者標目リンク 鈴木, 章義||スズキ, アキヨシ <AU00122062>
著者標目リンク 上野, 巧||ウエノ, タクミ <AU00122063>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
ローカル分類標目 NDC9:549.7
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
レコードID BB00179541
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