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超高純度ガスの科学

UCS半導体基盤技術研究会編 ; 第1分冊(コンセプト編), 第2分冊(データ編). -- リアライズ社, 1993. -- (Surface science technology series ; 2). <TW10174955>
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超高純度ガスの科学

UCS半導体基盤技術研究会編 ; 第1分冊(コンセプト編), 第2分冊(データ編). -- リアライズ社, 1993. -- (Surface science technology series ; 2). <TW10174955>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 第1分冊(コンセプト編) 12号館 開架室 549.8/C/1 001000860861X 配架済 0件
0002 第2分冊(データ編) 12号館 開架室 549.8/C/2 0010008608628 配架済 0件
No. 0001
巻号 第1分冊(コンセプト編)
所蔵館 12号館
配置場所 開架室
請求記号 549.8/C/1
資料ID 001000860861X
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
No. 0002
巻号 第2分冊(データ編)
所蔵館 12号館
配置場所 開架室
請求記号 549.8/C/2
資料ID 0010008608628
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 超高純度ガスの科学 / UCS半導体基盤技術研究会編
チョウ コウジュンド ガス ノ カガク
出版・頒布事項 東京 : リアライズ社 , 1993
形態事項 冊 ; 27 cm
巻号情報
巻次等 第1分冊(コンセプト編)
ISBN 494765564X
巻号情報
巻次等 第2分冊(データ編)
ISBN 4947655674
書誌構造リンク Surface science technology series||Surface science technology series <TW10151374> 2
注記 各章末:references
学情ID BN15744856
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 半導体基盤技術研究会
ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
ローカル分類標目 NDC:549.8
ローカル分類標目 NDC:575.34
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 ガス
巻次等 ISBN:494765564X
巻次等 ISBN:4947655674 PRICE:56650円
レコードID TW10174955
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