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半導体集積回路用レジスト材料ハンドブック

山岡亜夫監修. -- リアライズ社, 1996. <TW10177287>
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山岡亜夫監修. -- リアライズ社, 1996. <TW10177287>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 12号館 大型コーナー 549.8/H 0010008623309 配架済 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 12号館
配置場所 大型コーナー
請求記号 549.8/H
資料ID 0010008623309
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 半導体集積回路用レジスト材料ハンドブック / 山岡亜夫監修
ハンドウタイ シュウセキ カイロ ヨウ レジスト ザイリョウ ハンドブック
出版・頒布事項 東京 : リアライズ社 , 1996.7
形態事項 6, 293, 9p ; 30cm
巻号情報
ISBN 4947655895
学情ID BN1495341X
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 山岡, 亜夫(1939-)
ヤマオカ, ツグオ <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 NDC7:549.8
ローカル分類標目 NDC:549.8
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
レコードID TW10177287
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