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シリコンの科学

UCS半導体基盤技術研究会編 ; 大見忠弘, 新田雄久監修. -- リアライズ社, 1996. -- (Surface science technology series ; 3). <TW10151376>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 12号館 開架室 549.8/S 0010008333203 配架済 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 12号館
配置場所 開架室
請求記号 549.8/S
資料ID 0010008333203
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚

書誌詳細

標題および責任表示 シリコンの科学 / UCS半導体基盤技術研究会編 ; 大見忠弘, 新田雄久監修
シリコン ノ カガク
出版・頒布事項 東京 : リアライズ社 , 1996.6
形態事項 19, 1030, 16p ; 27cm
巻号情報
ISBN 4947655887
書誌構造リンク Surface science technology series||Surface science technology series <TW10151374> 3
注記 編集委員会: 滝口蓮一ほか
注記 執筆者: 大見忠弘ほか
注記 各章末: 参考文献
学情ID BN14827619
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 半導体基盤技術研究会
ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ <>
著者標目リンク 大見, 忠弘
オオミ, タダヒロ <>
著者標目リンク 新田, 雄久
ニッタ, カツヒサ <>
ローカル分類標目 NDC:549.8
レコードID TW10151376