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半導体製造装置用語辞典

日本半導体製造装置協会編. -- 第3版. -- 日刊工業新聞社, 1994. <TW10060376>
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半導体製造装置用語辞典

日本半導体製造装置協会編. -- 第3版. -- 日刊工業新聞社, 1994. <TW10060376>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 12号館 閉　架 R/549.8/H 0010006606148 禁帯出 0件
0002 札　幌 参　考 R/549.8/H 0010780552318 禁帯出 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 12号館
配置場所 閉　架
請求記号 R/549.8/H
資料ID 0010006606148
状態 禁帯出
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
No. 0002
巻号
所蔵館 札　幌
配置場所 参　考
請求記号 R/549.8/H
資料ID 0010780552318
状態 禁帯出
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 半導体製造装置用語辞典 / 日本半導体製造装置協会編
ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
版事項 第3版
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 1994.11
形態事項 xv, 486p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4526036137
その他の標題 異なりアクセスタイトル:Terminological Dictionary of Semiconductor Equipment.
学情ID BN11770322
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 日本半導体製造装置協会
ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
ローカル分類標目 NDC:549.8
件名標目等 半導体 -- 辞典||ハンドウタイ -- ジテン
件名標目等 半導体 -- 便覧||ハンドウタイ -- ベンラン
レコードID TW10060376
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