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ULSIプロセス材料実務便覧

津屋英樹監修. -- サイエンスフォ-ラム, 1992. <TW10020684>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 12号館 大型コーナー 549.8/U 0010005251958 配架済 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 12号館
配置場所 大型コーナー
請求記号 549.8/U
資料ID 0010005251958
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚

書誌詳細

標題および責任表示 ULSIプロセス材料実務便覧 / 津屋英樹監修
ULSI プロセス ザイリョウ ジツム ベンラン
出版・頒布事項 東京 : サイエンスフォ-ラム , 1992.1
形態事項 477p ; 31cm
注記 執筆:津屋英樹ほか
注記 各章末:文献
学情ID BN09666102
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 津屋, 英樹
ツヤ, ヒデキ <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 科学技術 NDLC:ND386
ローカル分類標目 NDC:549.8
件名標目等 集積回路
レコードID TW10020684