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超微細加工の基礎 : 半導体製造技術

麻蒔立男著. -- 日刊工業新聞社, 1993. <TW10009841>
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超微細加工の基礎 : 半導体製造技術

麻蒔立男著. -- 日刊工業新聞社, 1993. <TW10009841>
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所蔵一覧 1件～4件（全4件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 12号館 開架室 549.8/A 0010005194083 配架済 0件
0002 中　央 【外部書庫】開架室 549.8/A 0010005196493 配架済 0件
0003 札　幌 電動和書 549.8/C 0010780356462 配架済 0件
0004 12号館 開架室 549.8/A 0010009706046 配架済 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 12号館
配置場所 開架室
請求記号 549.8/A
資料ID 0010005194083
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
No. 0002
巻号
所蔵館 中　央
配置場所 【外部書庫】開架室
請求記号 549.8/A
資料ID 0010005196493
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
No. 0003
巻号
所蔵館 札　幌
配置場所 電動和書
請求記号 549.8/C
資料ID 0010780356462
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
No. 0004
巻号
所蔵館 12号館
配置場所 開架室
請求記号 549.8/A
資料ID 0010009706046
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 超微細加工の基礎 : 半導体製造技術 / 麻蒔立男著
チョウビサイ カコウ ノ キソ : ハンドウタイ セイゾウ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 1993.3
形態事項 261,4p ; 21cm
巻号情報
ISBN 4526032840
学情ID BN08854220
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 麻蒔, 立男(1934-)
アサマキ, タツオ <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
ローカル分類標目 NDC:549.8
ローカル分類標目 NDC9:549.8
件名標目等 半導体
レコードID TW10009841
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