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超純水の科学

半導体基盤技術研究会編. -- リアライズ社, 1990. -- (Surface science technology series ; 1). <TW10174948>
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超純水の科学

半導体基盤技術研究会編. -- リアライズ社, 1990. -- (Surface science technology series ; 1). <TW10174948>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 12号館 開架室 549.8/C 0010008606196 配架済 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 12号館
配置場所 開架室
請求記号 549.8/C
資料ID 0010008606196
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 超純水の科学 / 半導体基盤技術研究会編
チョウジュンスイ ノ カガク
出版・頒布事項 東京 : リアライズ社 , 1990.9
形態事項 890p ; 27cm
巻号情報
ISBN 4947655410
書誌構造リンク Surface science technology series||Surface science technology series <TW10151374> 1
注記 監修:大見忠弘[ほか]
注記 各章末:参考文献
学情ID BN05866584
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 半導体基盤技術研究会
ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
ローカル分類標目 NDC:549.8
ローカル分類標目 NDC:519.16
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 洗浄剤||センジョウザイ
レコードID TW10174948
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