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超純水の科学
半導体基盤技術研究会編. -- リアライズ社, 1990. -- (Surface science technology series ; 1). <TW10174948>
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超純水の科学
半導体基盤技術研究会編. -- リアライズ社, 1990. -- (Surface science technology series ; 1). <TW10174948>
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No.
巻号
所蔵館
配置場所
請求記号
資料ID
状態
返却予定日
予約
WEB書棚
0001
12号館
開架室
549.8/C
0010008606196
配架済
0件
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0001
巻号
所蔵館
12号館
配置場所
開架室
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549.8/C
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状態
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書誌詳細
標題および責任表示
超純水の科学 / 半導体基盤技術研究会編
チョウジュンスイ ノ カガク
出版・頒布事項
東京 : リアライズ社 , 1990.9
形態事項
890p ; 27cm
巻号情報
ISBN
4947655410
書誌構造リンク
Surface science technology series||Surface science technology series <TW10151374> 1
注記
監修:大見忠弘[ほか]
注記
各章末:参考文献
学情ID
BN05866584
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
半導体基盤技術研究会
ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ <>
分類標目
電子工学 NDC8:549.8
分類標目
科学技術 NDLC:ND371
ローカル分類標目
NDC:549.8
ローカル分類標目
NDC:519.16
件名標目等
半導体||ハンドウタイ
件名標目等
洗浄剤||センジョウザイ
レコードID
TW10174948
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