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超LSIレジストの分子設計

津田穣著. -- 共立出版, 1990. -- (表面・薄膜分子設計シリーズ / 日本表面科学会編 ; 11). <TW00636037>
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所蔵一覧 1件~2件(全2件)

No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 中 央 【外部書庫】開架室 549.8/T 0010010670661 配架済 0件
0002 12号館 開架室 549.8/T 0010011133406 配架済 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 中 央
配置場所 【外部書庫】開架室
請求記号 549.8/T
資料ID 0010010670661
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
No. 0002
巻号
所蔵館 12号館
配置場所 開架室
請求記号 549.8/T
資料ID 0010011133406
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚

書誌詳細

標題および責任表示 超LSIレジストの分子設計 / 津田穣著
チョウ LSI レジスト ノ ブンシ セッケイ
出版・頒布事項 東京 : 共立出版 , 1990.4
形態事項 117p ; 19cm
巻号情報
ISBN 4320085116
書誌構造リンク 表面・薄膜分子設計シリーズ / 日本表面科学会編||ヒョウメン ハクマク ブンシ セッケイ シリーズ <TW10015161> 11//a
学情ID BN04656779
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 津田, 穣(1935-)
ツダ, ミノル <>
分類標目 NDC:549.7
分類標目 NDC:578.4
分類標目 NDC:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:PA441
ローカル分類標目 NDC:549.8
件名標目等 集積回路
件名標目等 工業材料
件名標目等 薄膜
件名標目等 感光性樹脂
件名標目等 集積回路
レコードID TW00636037