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超微細加工とレジスト材料

シ-エムシ-, 1985. -- (R&D ; 74). <TW10014178>
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超微細加工とレジスト材料

シ-エムシ-, 1985. -- (R&D ; 74). <TW10014178>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 12号館 開架室 549.8/C 0010005236797 配架済 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 12号館
配置場所 開架室
請求記号 549.8/C
資料ID 0010005236797
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 超微細加工とレジスト材料
チョウビサイ カコウ ト レジスト ザイリョウ
出版・頒布事項 東京 : シ-エムシ- , 1985.12
形態事項 255p ; 27cm
書誌構造リンク R&D||R & D <TW10014171> 74
注記 発売:ジスク
注記 各章末:文献
学情ID BN0432575X
本文言語コード 日本語
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 科学技術 NDLC:ND386
ローカル分類標目 NDC:549.8
件名標目等 集積回路
件名標目等 電子光学
レコードID TW10014178
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