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ポストシリコン半導体 : ナノ成膜ダイナミクスと基板・界面効果

エヌ・ティー・エス, 2013. <BB00470200>
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ポストシリコン半導体 : ナノ成膜ダイナミクスと基板・界面効果

エヌ・ティー・エス, 2013. <BB00470200>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 12号館 開架室 549.8/P 0010014154889 貸出中 2027/3/31 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 12号館
配置場所 開架室
請求記号 549.8/P
資料ID 0010014154889
状態 貸出中
返却予定日 2027/3/31
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 ポストシリコン半導体 : ナノ成膜ダイナミクスと基板・界面効果
ポスト シリコン ハンドウタイ : ナノ セイマク ダイナミクス ト キバン カイメン コウカ
出版・頒布事項 東京 : エヌ・ティー・エス , 2013.6
形態事項 2, 10, 510, 15p, 図版18p : 挿図 ; 27cm
巻号情報
ISBN 9784864690591
その他の標題 異なりアクセスタイトル:ポストシリコン半導体 : ナノ成膜ダイナミクスと基板界面効果
ポスト シリコン ハンドウタイ : ナノ セイマク ダイナミクス ト キバン カイメン コウカ
注記 文献: 各節末
学情ID BB12654468
本文言語コード 日本語
ローカル分類標目 NDC9:549.8
レコードID BB00470200
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