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異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合

益一哉, 年吉洋, 町田克之監修. -- シーエムシー出版, 2012. -- (新材料・新素材シリーズ). <BB00443194>
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異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合

益一哉, 年吉洋, 町田克之監修. -- シーエムシー出版, 2012. -- (新材料・新素材シリーズ). <BB00443194>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 12号館 開架室 549.7/I 0010013959239 配架済 0件
0002 品　川 和書電動 549.7/I 0010070428689 配架済 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 12号館
配置場所 開架室
請求記号 549.7/I
資料ID 0010013959239
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
No. 0002
巻号
所蔵館 品　川
配置場所 和書電動
請求記号 549.7/I
資料ID 0010070428689
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合 / 益一哉, 年吉洋, 町田克之監修
イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSI ノ ユウゴウ
出版・頒布事項 東京 : シーエムシー出版 , 2012.11
形態事項 ix, 279p ; 27cm
巻号情報
ISBN 9784781305868
書誌構造リンク 新材料・新素材シリーズ||シンザイリョウ シンソザイ シリーズ <BB00295683>//a
その他の標題 標題紙タイトル:Integration technology for heterogeneous advanced devices : basics and applications
その他の標題 表紙タイトル:High technology information
その他の標題 異なりアクセスタイトル:異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMSNEMSセンサCMOSLSIの融合
イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ : メムス ネムス センサ シーモス エルエスアイ ノ ユウゴウ
注記 参考文献あり
学情ID BB1082106X
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 益, 一哉
マス, カズヤ <>
著者標目リンク 年吉, 洋||トシヨシ, ヒロシ <AU00224134>
著者標目リンク 町田, 克之
マチダ, カツユキ <>
ローカル分類標目 NDC9:549.7
レコードID BB00443194
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