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ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術 : 成膜技術と膜・界面の物性科学

岩井洋 [ほか著]. -- エヌ・ティー・エス, 2012. <BB00434750>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 12号館 開架室 549.8/N 001001390468X 配架済 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 12号館
配置場所 開架室
請求記号 549.8/N
資料ID 001001390468X
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚

書誌詳細

標題および責任表示 ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術 : 成膜技術と膜・界面の物性科学 / 岩井洋 [ほか著]
ナノエレクトロニクス ニ オケル ゼツエン チョウハクマク ギジュツ : セイマク ギジュツ ト マク カイメン ノ ブッセイ カガク
出版・頒布事項 東京 : エヌ・ティー・エス , 2012.7
形態事項 22, 2, 4, 338, 11p : 挿図 ; 27cm
巻号情報
ISBN 9784864690393
その他の標題 背表紙タイトル:ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術
ナノエレクトロニクス ニ オケル ゼツエン チョウハクマク ギジュツ
その他の標題 異なりアクセスタイトル:ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術 : 成膜技術と膜界面の物性科学
ナノエレクトロニクス ニ オケル ゼツエン チョウハクマク ギジュツ : セイマク ギジュツ ト マク カイメン ノ ブッセイ カガク
注記 著者のヨミは推定による
注記 参考・引用文献: 各章末
学情ID BB09682498
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 岩井, 洋
イワイ, ヒロシ <>
ローカル分類標目 NDC9:549.8
レコードID BB00434750