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触媒CVD(Cat-CVD)の新展開 : ラジカルを用いる新プロセス技術

中山弘監修. -- シーエムシー出版, 2008. <BB00355468>
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触媒CVD(Cat-CVD)の新展開 : ラジカルを用いる新プロセス技術

中山弘監修. -- シーエムシー出版, 2008. <BB00355468>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 12号館 開架室 431.35/S 001001324891X 配架済 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 12号館
配置場所 開架室
請求記号 431.35/S
資料ID 001001324891X
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 触媒CVD(Cat-CVD)の新展開 : ラジカルを用いる新プロセス技術 / 中山弘監修
ショクバイ CVD (CAT - CVD) ノ シン テンカイ : ラジカル オ モチイル シン プロセス ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : シーエムシー出版 , 2008.10
形態事項 v, 276p : 挿図 ; 27cm
巻号情報
ISBN 9784781300399
その他の標題 異なりアクセスタイトル:Recent developments of catalytic CVD (hot-wire CVD) : a new radical-based processing technology
その他の標題 その他のタイトル:エレクトロニクスシリーズ
エレクトロニクス シリーズ
その他の標題 異なりアクセスタイトル:触媒CVDCat-CVDの新展開 : ラジカルを用いる新プロセス技術
ショクバイ CVD Cat CVD ノ シンテンカイ : ラジカル オ モチイル シンプロセス ギジュツ
注記 シリーズ名「エレクトロニクスシリーズ」はカバーによる
学情ID BA87642033
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 中山, 弘
ナカヤマ , ヒロシ <>
ローカル分類標目 NDC9:431.35
ローカル分類標目 NDC9:572.8
レコードID BB00355468
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