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半導体製造プロセスと材料

大見忠弘監修. -- 普及版. -- シーエムシー出版, 2005. -- (CMCテクニカルライブラリー ; 205). <BB00226501>
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半導体製造プロセスと材料

大見忠弘監修. -- 普及版. -- シーエムシー出版, 2005. -- (CMCテクニカルライブラリー ; 205). <BB00226501>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 12号館 開架室 549.8/H 0010012476374 配架済 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 12号館
配置場所 開架室
請求記号 549.8/H
資料ID 0010012476374
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 半導体製造プロセスと材料 / 大見忠弘監修
ハンドウタイ セイゾウ プロセス ト ザイリョウ
版事項 普及版
出版・頒布事項 東京 : シーエムシー出版 , 2005.10
形態事項 v, 274p ; 21cm
巻号情報
ISBN 4882318660
書誌構造リンク CMCテクニカルライブラリー||CMC テクニカル ライブラリー <BB00049616> 205//a
その他の標題 標題紙タイトル:Process and materials of semiconductor equipment
その他の標題 原タイトル:新しい半導体製造プロセスと材料
アタラシイ ハンドウタイ セイゾウ プロセス ト ザイリョウ
注記 初版のタイトル: 新しい半導体製造プロセスと材料
学情ID BA7423115X
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 大見, 忠弘(1939-)||オオミ, タダヒロ <AU00047430>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
ローカル分類標目 NDC9:549.8
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
レコードID BB00226501
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