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Fundamentals of semiconductor fabrication

Gary S. May, Simon M. Sze ; : international ed. -- Wiley, 2004. <BB00268902>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 WEB書棚
0001 : international ed 12号館 開架室 549.8/M 0010012612812 配架済
No. 0001
巻号 : international ed
所蔵館 12号館
配置場所 開架室
請求記号 549.8/M
資料ID 0010012612812
状態 配架済
返却予定日
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 Fundamentals of semiconductor fabrication / Gary S. May, Simon M. Sze
出版・頒布事項 Hoboken, N.J. : Wiley , c2004
形態事項 xiii, 305 p. : ill. ; 26 cm
巻号情報
ISBN 0471232793
巻号情報
巻次等 : international ed
ISBN 0471452386
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BA63776603
本文言語コード 英語
著者標目リンク *May, Gary S. <AU00162432>
著者標目リンク Sze, S. M., 1936- <AU00001756>
分類標目 DC21:621.38152
ローカル分類標目 NDC9:549.8
件名標目等 Semiconductors -- Design and construction
レコードID BB00268902
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