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半導体洗浄と環境適応技術 : ほしい技術が見えてくる!

独立行政法人工業所有権総合情報館編. -- 発明協会, 2002. -- (特許流通支援チャート . 一般 ; 3). <BB00163150>
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半導体洗浄と環境適応技術 : ほしい技術が見えてくる!

独立行政法人工業所有権総合情報館編. -- 発明協会, 2002. -- (特許流通支援チャート . 一般 ; 3). <BB00163150>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 12号館 大型コーナー 507.23/I/3 0010009739475 配架済 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 12号館
配置場所 大型コーナー
請求記号 507.23/I/3
資料ID 0010009739475
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 半導体洗浄と環境適応技術 : ほしい技術が見えてくる! / 独立行政法人工業所有権総合情報館編
ハンドウタイ センジョウ ト カンキョウ テキオウ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 発明協会 , 2002.6
形態事項 xii, 259p ; 30cm
巻号情報
ISBN 4827106819
書誌構造リンク 特許流通支援チャート||トッキョ リュウツウ シエン チャート <BB00162647> . 一般 ; 3//a
学情ID BA60928567
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 独立行政法人工業所有権総合情報館
ドクリツ ギョウセイ ホウジン コウギョウ ショユウケン ソウゴウ ジョウホウカン <>
分類標目 研究・指導法．技術教育．特許 NDC8:507.23
分類標目 研究法．指導法．技術教育 NDC9:507.23
ローカル分類標目 NDC9:507.23
ローカル分類標目 NDC9:549.8
件名標目等 特許||トッキョ
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 洗浄法||センジョウホウ
レコードID BB00163150
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