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VLSIプロセス技術 : 高歩留りのための問題点とその解決

小林稔, 中島蕃著. -- 第2版. -- 日刊工業新聞社, 2002. <BB00114300>
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小林稔, 中島蕃著. -- 第2版. -- 日刊工業新聞社, 2002. <BB00114300>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 WEB書棚
0001 札　幌 電動和書 549.8/K 0010780357930 配架済
0002 12号館 開架室 549.7/K 0010009439161 配架済
No. 0001
巻号
所蔵館 札　幌
配置場所 電動和書
請求記号 549.8/K
資料ID 0010780357930
状態 配架済
返却予定日
WEB書棚
No. 0002
巻号
所蔵館 12号館
配置場所 開架室
請求記号 549.7/K
資料ID 0010009439161
状態 配架済
返却予定日
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 VLSIプロセス技術 : 高歩留りのための問題点とその解決 / 小林稔, 中島蕃著
VLSI プロセス ギジュツ : コウブドマリ ノ タメ ノ モンダイテン ト ソノ カイケツ
版事項 第2版
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 2002.3
形態事項 xi, 169p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4526049050
注記 監修: 垂井康夫
注記 章末: 参考文献
学情ID BA56507656
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 小林, 稔(1932-)||コバヤシ, ミノル <AU00086773>
著者標目リンク 中島, 蕃||ナカジマ, シゲル <AU00086774>
著者標目リンク 垂井, 康夫(1929-)||タルイ, ヤスオ <AU00019547>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
ローカル分類標目 NC9:549.7
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
レコードID BB00114300
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