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シリコンマイクロ加工の基礎

M.エルベンスポーク, H.V.ヤンセン[著] ; 田畑修, 佐藤一雄訳. -- シュプリンガー・フェアラーク東京, 2001. <BB00106924>
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シリコンマイクロ加工の基礎

M.エルベンスポーク, H.V.ヤンセン[著] ; 田畑修, 佐藤一雄訳. -- シュプリンガー・フェアラーク東京, 2001. <BB00106924>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 12号館 開架室 549.8/E 0010009399283 配架済 0件
0002 静　岡 開架室 549.8/E 0010042009715 配架済 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 12号館
配置場所 開架室
請求記号 549.8/E
資料ID 0010009399283
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
No. 0002
巻号
所蔵館 静　岡
配置場所 開架室
請求記号 549.8/E
資料ID 0010042009715
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 シリコンマイクロ加工の基礎 / M.エルベンスポーク, H.V.ヤンセン[著] ; 田畑修, 佐藤一雄訳
シリコン マイクロ カコウ ノ キソ
出版・頒布事項 東京 : シュプリンガー・フェアラーク東京 , 2001.12
形態事項 xi, 431p ; 27cm
巻号情報
ISBN 4431709347
その他の標題 原タイトル:Silicon micromachining
注記 “Silicon micromachining"の翻訳
学情ID BA54870462
本文言語コード 日本語
著者標目リンク Elwenspoek, M. (Miko), 1948- <AU00083373>
著者標目リンク Jansen, H. V. (Henri V.) <AU00083374>
著者標目リンク 田畑, 修
タバタ, オサム <>
著者標目リンク 佐藤, 一雄(1948-)||サトウ, カズオ <AU00083375>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
ローカル分類標目 NDC9:549.8
件名標目等 シリコン(半導体)||シリコン(ハンドウタイ)
レコードID BB00106924
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