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超微細加工の基礎 : 電子デバイスプロセス技術

麻蒔立男著. -- 第2版. -- 日刊工業新聞社, 2001. <BB00106732>
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麻蒔立男著. -- 第2版. -- 日刊工業新聞社, 2001. <BB00106732>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 12号館 開架室 549.8/A 0010009396519 配架済 0件
0002 静　岡 開架室 549.8/A 0010041598504 配架済 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 12号館
配置場所 開架室
請求記号 549.8/A
資料ID 0010009396519
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
No. 0002
巻号
所蔵館 静　岡
配置場所 開架室
請求記号 549.8/A
資料ID 0010041598504
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 超微細加工の基礎 : 電子デバイスプロセス技術 / 麻蒔立男著
チョウビサイ カコウ ノ キソ : デンシ デバイス プロセス ギジュツ
版事項 第2版
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 2001.9
形態事項 x, 295p ; 21cm
巻号情報
ISBN 4526048127
学情ID BA53699368
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 麻蒔, 立男(1934-)||アサマキ, タツオ <AU00000901>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
ローカル分類標目 NDC9:549.8
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
レコードID BB00106732
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