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Handbook of semiconductor manufacturing technology

edited by Yoshio Nishi, Robert Doering ; assistant editor, Tim Wooldrige. -- Marcel Dekker, 2000. <BB00047192>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 12号館 開架室 549.8/H 0010009038310 配架済 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 12号館
配置場所 開架室
請求記号 549.8/H
資料ID 0010009038310
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚

書誌詳細

標題および責任表示 Handbook of semiconductor manufacturing technology / edited by Yoshio Nishi, Robert Doering ; assistant editor, Tim Wooldrige
出版・頒布事項 New York : Marcel Dekker , c2000
形態事項 xiv, 1157 p. : ill. ; 29 cm
巻号情報
ISBN 0824787838
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BA49061637
本文言語コード 英語
著者標目リンク Nishi, Yoshio <>
著者標目リンク Doering, Robert <>
著者標目リンク Wooldrige, Tim <>
ローカル分類標目 NDC9:549.8
レコードID BB00047192