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SOIの科学

UCS半導体基盤技術研究会編 ; 大見忠弘, 新田雄久監修. -- リアライズ社, 2000. -- (Surface science technology series ; 4). <BB00049925>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 12号館 開架室 549.8/S 0010009055460 配架済 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 12号館
配置場所 開架室
請求記号 549.8/S
資料ID 0010009055460
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚

書誌詳細

標題および責任表示 SOIの科学 / UCS半導体基盤技術研究会編 ; 大見忠弘, 新田雄久監修
SOI ノ カガク
出版・頒布事項 東京 : リアライズ社 , 2000.4
形態事項 6, 361, 4p ; 27cm
巻号情報
ISBN 4898080227
書誌構造リンク Surface science technology series <TW10151374> 4//a
注記 編集委員会: 出水清史ほか
注記 執筆者: 出水清史ほか
学情ID BA46639027
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 半導体基盤技術研究会||ハンドウタイ キバン ギジュツ ケンキュウカイ <AU00047429>
著者標目リンク 大見, 忠弘||オオミ, タダヒロ <AU00047430>
著者標目リンク 新田, 雄久||ニッタ, カツヒサ <AU00047431>
ローカル分類標目 NDC9:549.8
レコードID BB00049925