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Micromachining and microfabrication

: us, : uk. -- SPIE Optical Engineering Press, 1997. -- (IEE materials & devices series ; 12B . Handbook of microlithography, micromachining and microfabrication / P. Rai-Choudhury, editor ; v. 2). <TY10090437>
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Micromachining and microfabrication

: us, : uk. -- SPIE Optical Engineering Press, 1997. -- (IEE materials & devices series ; 12B . Handbook of microlithography, micromachining and microfabrication / P. Rai-Choudhury, editor ; v. 2). <TY10090437>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 12号館 開架室 580/H/2 0010008444722 配架済 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 12号館
配置場所 開架室
請求記号 580/H/2
資料ID 0010008444722
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 Micromachining and microfabrication
出版・頒布事項 Bellingham, Wash. : SPIE Optical Engineering Press
出版・頒布事項 London : Institution of Electrical Engineers , c1997
形態事項 viiI, 692 p. : ill. ; 26 cm
巻号情報
巻次等 : us
ISBN 0819423793
巻号情報
巻次等 : uk
ISBN 0852969112
書誌構造リンク IEE materials & devices series <TY10090439> 12B . Handbook of microlithography, micromachining and microfabrication / P. Rai-Choudhury, editor ; v. 2
注記 "SPIE press monograph PM40"
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BA32829782
本文言語コード 英語
著者標目リンク Rai-Choudhury, P. <>
分類標目 LCC:TK7836
分類標目 DC21:670
ローカル分類標目 NDC:580
件名標目等 Microlithography
件名標目等 Micromachining
件名標目等 Microfabrication
レコードID TY10090437
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