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Metal impurities in silicon-device fabrication

Klaus Graff ; : gw, : us. -- Springer, 1995. -- (Springer series in materials science ; 24). <TY10079040>
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Metal impurities in silicon-device fabrication

Klaus Graff ; : gw, : us. -- Springer, 1995. -- (Springer series in materials science ; 24). <TY10079040>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 12号館 開架室 549.8/G 0010008190763 配架済 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 12号館
配置場所 開架室
請求記号 549.8/G
資料ID 0010008190763
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 Metal impurities in silicon-device fabrication / Klaus Graff
出版・頒布事項 Berlin ; New York : Springer , c1995
形態事項 ix, 216 p. : ill. ; 25 cm
巻号情報
巻次等 : gw
ISBN 3540583173
巻号情報
巻次等 : us
ISBN 0387583173
書誌構造リンク Springer series in materials science <TY10009397> 24
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BA24136474
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Graff, Klaus, 1931- <>
分類標目 LCC:TK7871.85
分類標目 DC20:621.3815/2
ローカル分類標目 NDC:549.8
件名標目等 Semiconductors -- Defects
件名標目等 Silicon -- Inclusions
件名標目等 Silicon -- Defects
レコードID TY10079040
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