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Introduction to VLSI process engineering

edited by the Society of Chemical Engineers of Japan ; [editor in chief, Yuji Naka]. -- English language ed. -- Chapman & Hall, 1993. <TY10042395>
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Introduction to VLSI process engineering

edited by the Society of Chemical Engineers of Japan ; [editor in chief, Yuji Naka]. -- English language ed. -- Chapman & Hall, 1993. <TY10042395>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 WEB書棚
0001 12号館 開架室 549.8/I 0010006705847 配架済
No. 0001
巻号
所蔵館 12号館
配置場所 開架室
請求記号 549.8/I
資料ID 0010006705847
状態 配架済
返却予定日
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 Introduction to VLSI process engineering / edited by the Society of Chemical Engineers of Japan ; [editor in chief, Yuji Naka]
版事項 English language ed
出版・頒布事項 London ; Tokyo : Chapman & Hall , 1993
形態事項 xiii, 210 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0412395509
その他の標題 原タイトル:化学技術者のための超LSI技術入門
カガク ギジュツシャ ノ タメノ チョウ LSI ギジュツ ニュウモン
注記 "The English language edition has been translated from the original Japanese publication Introduction to VLSI processing for chemical engineers, Baifukan c1989" -- T. p. verso
注記 Includes index
学情ID BA20932401
本文言語コード 英語
著者標目リンク 化学工学協会
カガク コウガク キョウカイ <>
著者標目リンク 仲, 勇治(1945-)
ナカ, ユウジ <>
ローカル著者標目 Society of Chemical Engineers of Japan
ローカル著者標目 Naka, Yuji
分類標目 LCC:TK7874
分類標目 DC20:621.39/5
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
ローカル分類標目 NDC:549.8
件名標目等 Integrated circuits -- Very large scale integration -Design and construction
件名標目等 Manufacturing processes
レコードID TY10042395
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