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Film deposition by plasma techniques

Mitsuharu Konuma ; : Germany, : New York. -- Springer-Verlag, 1992. -- (Springer series on atoms + plasmas ; 10). <TY10008082>
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Film deposition by plasma techniques

Mitsuharu Konuma ; : Germany, : New York. -- Springer-Verlag, 1992. -- (Springer series on atoms + plasmas ; 10). <TY10008082>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 12号館 開架室 549.8/K 0010006093868 配架済 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 12号館
配置場所 開架室
請求記号 549.8/K
資料ID 0010006093868
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 Film deposition by plasma techniques / Mitsuharu Konuma
出版・頒布事項 Berlin ; Tokyo : Springer-Verlag , c1992
形態事項 ix , 224 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
巻次等 : Germany
ISBN 3540540571
巻号情報
巻次等 : New York
ISBN 0387540571
書誌構造リンク Springer series on atoms + plasmas <TY10000694> 10
その他の標題 その他のタイトル:プラズマと成膜の基礎
プラズマ ト セイマク ノ キソ
注記 Based on: Purazuma to seimaku no kiso / Mitsuharu Konuma. Cf. Pref
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BA14397573
本文言語コード 英語
著者標目リンク *小沼, 光晴(1950-)
コヌマ, ミツハル <>
ローカル著者標目 Konuma, Mitsuharu
分類標目 LCC:TK7871.15.F5
分類標目 DC20:621.381/52
ローカル分類標目 NDC:549.8
件名標目等 Thin films
件名標目等 Plasma-enhanced chemical vapor deposition
レコードID TY10008082
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