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Ion implantation in semiconductors

D. Stievenard, J.C. Bourgoin. -- Trans Tech, 1988. <TY10056490>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 12号館 開架室 549.8/S 0010007721323 配架済 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 12号館
配置場所 開架室
請求記号 549.8/S
資料ID 0010007721323
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚

書誌詳細

標題および責任表示 Ion implantation in semiconductors / D. Stievenard, J.C. Bourgoin
出版・頒布事項 Aedermannsdorf, Switzerland : Trans Tech , c1988
形態事項 v, 473 p. : ill. ; 25 cm
巻号情報
ISBN 0878495754
注記 "Previously published in Diffusion and Defect Data Pt. B: Solid State Phenomena"--T.p. verso
学情ID BA07383681
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Stievenard, D. <>
著者標目リンク Bourgoin, J. C. <>
ローカル分類標目 NDC:549.8
レコードID TY10056490