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Handbook of thin-film deposition processes and techniques : principles, methods, equipment, and applications

edited by Klaus K. Schuegraf. -- Noyes, 1988. -- (Materials science and process technology series). <TY10023097>
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Handbook of thin-film deposition processes and techniques : principles, methods, equipment, and applications

edited by Klaus K. Schuegraf. -- Noyes, 1988. -- (Materials science and process technology series). <TY10023097>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 12号館 開架室 541.7/H 0010006601200 貸出中 2025/3/31 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 12号館
配置場所 開架室
請求記号 541.7/H
資料ID 0010006601200
状態 貸出中
返却予定日 2025/3/31
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Handbook of thin-film deposition processes and techniques : principles, methods, equipment, and applications / edited by Klaus K. Schuegraf
出版・頒布事項 Park Ridge, N.J., U.S.A. : Noyes , c1988
形態事項 xvii, 413 p. : ill. ; 25 cm
巻号情報
ISBN 0815511531
書誌構造リンク Materials science and process technology series <TY10031587>
その他の標題 異なりアクセスタイトル:Hand book of thin-film deposition processes and techniques
注記 Includes bibliographies and index
学情ID BA07074756
本文言語コード 英語
著者標目リンク Schuegraf, Klaus K. <>
分類標目 LCC:TK7872.T55
分類標目 DC19:621.381/72
ローカル分類標目 NDC:541.7
件名標目等 Thin film devices -- Design and construction -- Handbooks, manuals, etc
レコードID TY10023097
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