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Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition and etching of insulators

Ian W. Boyd ; : U.S., : Germany. -- Springer-Verlag, 1987. -- (Springer series in materials science ; v. 3). <TY10051742>
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Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition and etching of insulators

Ian W. Boyd ; : U.S., : Germany. -- Springer-Verlag, 1987. -- (Springer series in materials science ; v. 3). <TY10051742>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約 WEB書棚
0001 12号館 開架室 549.95/B 0010007619650 配架済 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 12号館
配置場所 開架室
請求記号 549.95/B
資料ID 0010007619650
状態 配架済
返却予定日
予約 0件
WEB書棚
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書誌詳細

標題および責任表示 Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition and etching of insulators / Ian W. Boyd
出版・頒布事項 Berlin ; Tokyo : Springer-Verlag , c1987
形態事項 viii, 320 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
巻次等 : U.S.
ISBN 0387179518
巻号情報
巻次等 : Germany
ISBN 3540179518
書誌構造リンク Springer series in materials science <TY10009397> v. 3
注記 Bibliography: p. 287-313
注記 Includes index
学情ID BA01434688
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Boyd, Ian W. <>
分類標目 LCC:TA1677
分類標目 DC19:621.36/6
ローカル分類標目 NDC:549.95
件名標目等 Lasers -- Industrial applications
レコードID TY10051742
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