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Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition and etching of insulators
Ian W. Boyd ; : U.S., : Germany. -- Springer-Verlag, 1987. -- (Springer series in materials science ; v. 3). <TY10051742>
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Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition and etching of insulators
Ian W. Boyd ; : U.S., : Germany. -- Springer-Verlag, 1987. -- (Springer series in materials science ; v. 3). <TY10051742>
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No.
巻号
所蔵館
配置場所
請求記号
資料ID
状態
返却予定日
予約
WEB書棚
0001
12号館
開架室
549.95/B
0010007619650
配架済
0件
No.
0001
巻号
所蔵館
12号館
配置場所
開架室
請求記号
549.95/B
資料ID
0010007619650
状態
配架済
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書誌詳細
標題および責任表示
Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition and etching of insulators / Ian W. Boyd
出版・頒布事項
Berlin ; Tokyo : Springer-Verlag , c1987
形態事項
viii, 320 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
巻次等
: U.S.
ISBN
0387179518
巻号情報
巻次等
: Germany
ISBN
3540179518
書誌構造リンク
Springer series in materials science <TY10009397> v. 3
注記
Bibliography: p. 287-313
注記
Includes index
学情ID
BA01434688
本文言語コード
英語
著者標目リンク
*Boyd, Ian W. <>
分類標目
LCC:TA1677
分類標目
DC19:621.36/6
ローカル分類標目
NDC:549.95
件名標目等
Lasers -- Industrial applications
レコードID
TY10051742
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DC19:621.36/6
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