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Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena

Vol. 9, no. 1 (Jan./Feb. 1991)-. -- American Institute of Physics, 1991. <ZY10003795>
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Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena

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No. 所蔵館 配置場所 請求記号 巻号 年月次 購読状況 備考
0001 12号館 洋雑誌開架 9-37 1991-2019
No. 0001
所蔵館 12号館
配置場所 洋雑誌開架
請求記号
巻号 9-37
年月次 1991-2019
購読状況
備考
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書誌詳細

標題および責任表示 Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena
巻次・年月次 Vol. 9, no. 1 (Jan./Feb. 1991)-
出版・頒布事項 New York : American Institute of Physics , 1991-
形態事項 v. : ill. ; 29 cm
その他の標題 表紙タイトル:Journal of vacuum science and technology. B, 2nd series. Nanotechnology & microelectronics: mateials, processing, mesurement, & phenomena
その他の標題 背表紙タイトル:JVSTB, Nanotechnology & microelectronics
学情ID AA10804928
本文言語コード 英語
刊行頻度コード 隔月刊
ISSN 21662746
書誌変遷リンク 継続前誌 :Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society <ZY00006286>
レコードID ZY10003795
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