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Journal of vacuum science and technology

American Vacuum Society. -- Vol. 1, no. 1 (1964)-v. 21, no. 4 (1982). -- American Institute of Physics, 1964. <ZY00004320>
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No. 所蔵館 配置場所 請求記号 巻号 年月次 購読状況 備考
0001 12号館 洋雑誌開架 6-21 1969-1982
No. 0001
所蔵館 12号館
配置場所 洋雑誌開架
請求記号
巻号 6-21
年月次 1969-1982
購読状況
備考

書誌詳細

標題および責任表示 Journal of vacuum science and technology / American Vacuum Society
巻次・年月次 Vol. 1, no. 1 (1964)-v. 21, no. 4 (1982)
出版・頒布事項 New York : American Institute of Physics
学情ID AA00708677
本文言語コード 英語
ISSN 00225355
書誌変遷リンク 継続後誌 :Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society <ZY00006286>
書誌変遷リンク 継続後誌 :Journal of vacuum science & technology. 2nd series. A, Vacuum, surfaces, and films : an official journal of the American Vacuum Society <ZY00006297>
著者標目リンク American Vacuum Society <AU00058625>
件名標目等 Vacuum technology -- Periodicals
レコードID ZY00004320