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マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術
式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩監修. -- シーエムシー出版, 2009. <BB00368202>
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マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術
式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩監修. -- シーエムシー出版, 2009. <BB00368202>
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No.
巻号
所蔵館
配置場所
請求記号
資料ID
状態
返却予定日
予約
WEB書棚
0001
12号館
開架室
549.8/M
0010013391224
配架済
0件
No.
0001
巻号
所蔵館
12号館
配置場所
開架室
請求記号
549.8/M
資料ID
0010013391224
状態
配架済
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書誌詳細
標題および責任表示
マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術 / 式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩監修
マイクロ ナノデバイス ノ エッチング ギジュツ
出版・頒布事項
東京 : シーエムシー出版 , 2009.10
形態事項
ix, 301p ; 27cm
巻号情報
ISBN
9784781301679
その他の標題
その他のタイトル:新材料・新素材シリーズ
シンザイリョウ シンソザイ シリーズ
その他の標題
標題紙タイトル:Etching for micro/nano fabrication
その他の標題
異なりアクセスタイトル:マイクロナノデバイスのエッチング技術
マイクロ ナノ デバイス ノ エッチング ギジュツ
注記
カバージャケットに「新材料・新素材シリーズ」の表示あり
学情ID
BB00938446
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
式田, 光宏(1964-)||シキダ, ミツヒロ <AU00202336>
著者標目リンク
佐藤, 一雄(1948-)||サトウ, カズオ <AU00083375>
著者標目リンク
田中, 浩
タナカ, ヒロシ <>
分類標目
電子工学 NDC9:549.8
分類標目
科学技術 NDLC:ND371
ローカル分類標目
NDC9:549.8
件名標目等
半導体||ハンドウタイ
件名標目等
表面(工学)||ヒョウメン(コウガク)
レコードID
BB00368202
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式田, 光宏(1964-)
佐藤, 一雄(1948-)
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電子工学 NDC9:549.8
科学技術 NDLC:ND371
NDC9:549.8
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