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Study on the charge trapping phenomena in silicon carbonitride films for nonvolatile semiconductor memory applications
Ahmed Sheikh Rashel Al. -- (博士学位論文 : 博士(工学) ;2017年度). w. <TD00000264>
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Study on the charge trapping phenomena in silicon carbonitride films for nonvolatile semiconductor memory applications
Ahmed Sheikh Rashel Al. -- (博士学位論文 : 博士(工学) ;2017年度). w. <TD00000264>
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書誌詳細
タイトル
Study on the charge trapping phenomena in silicon carbonitride films for nonvolatile semiconductor memory applications
タイトル(その他)
不揮発性半導体メモリへの応用のためのシリコン炭窒化膜の電荷捕獲現象に関する研究
タイトル(その他)
フキハツセイ ハンドウタイ メモリ エノ オウヨウ ノ タメノ シリコン タンチッカマク ノ デンカ ホカク ゲンショウ ニ カンスル ケンキュウ
作成者
Ahmed Sheikh Rashel Al
アハメド シャイク ラシェール アル
公開者
東海大学
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内容の要旨
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審査結果の要旨
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全文
書誌構造リンク
博士学位論文 : 博士(工学)||ハクシ ガクイ ロンブン : ハクシ コウガク <TB00000001>2017年度
主題
nonvolatile memory
主題
silicon carbonitride
主題
charge centroid
主題
charge retention
主題
charge trap center
主題
不揮発性メモリ
主題
シリコン炭窒化膜
主題
電荷重心
主題
電荷保持特性
主題
電荷捕獲中心
資料種別(NIIタイプ)
学位論文
著者版フラグ
ETD
報告番号
甲第1035号
学位名
博士(工学)
学位授与年月日
2017.09.21
学位授与機関
東海大学
研究科
総合理工学研究科
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