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SiO_2光学薄膜における内部応力の経時変化と光学特性

荒井, 健太郎; 小林, 大輔; 室谷, 裕志; 若木, 守明; 松下, 明紀 ; 金谷, 泰将, 2006.03.31. -- (東海大学紀要. 工学部. Vol.45 No.2(2005)). w. <TC20003810>
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書誌詳細

タイトル SiO_2光学薄膜における内部応力の経時変化と光学特性
タイトル(その他) Time dependence of internal stress and optical characteristics of SiO_2 optical thin film
作成者 荒井, 健太郎
アライ, ケンタロウ
Arai, Kentaro
作成者 小林, 大輔
コバヤシ, ダイスケKobayasi, Daisuke
作成者 室谷, 裕志
ムロタニ, ヒロシ
Murotani, Hiroshi
作成者 若木, 守明
ワカキ, モリアキ
Wakaki, Moriaki
作成者 松下, 明紀
マツシタ, アキノリ
Matsusita, Akinori
作成者 金谷, 泰将
カナヤ, ヤスマサ
Kanaya, Yasumasa
公開者 東海大学工学部
掲載巻号 東海大学紀要. 工学部. Vol.45 No.2(2005) <TB20000310>
ISSN 24343633
雑誌名 東海大学紀要. 工学部
巻次等 45
号 2
開始終了ページ 23-28
発行日 2006.03.31
主題 optical thin film
主題 internal stress
主題 SiO_2
主題 ion-assisted deposition
資料種別(NIIタイプ) 紀要論文
フォーマット PDFファイル