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書誌詳細

	ダイヤモンド薄膜における表面伝導層の形成モデル : 多結晶薄膜とホモエピタキシャル薄膜の比較李, 成奇; 秋葉, 幸男; 黒須, 楯生; 飯田, 昌盛, 1997.03.31. -- (東海大学紀要. 工学部. Vol.36 No.2(1996)). w. <TC20003397> 登録タグ：登録されているタグはありません便利機能：エクスポート先選択エクスポート先を選択してください。このウインドウを閉じるレビューを見る詳細情報を見る書誌URL：

ダイヤモンド薄膜における表面伝導層の形成モデル : 多結晶薄膜とホモエピタキシャル薄膜の比較李, 成奇; 秋葉, 幸男; 黒須, 楯生; 飯田, 昌盛, 1997.03.31. -- (東海大学紀要. 工学部. Vol.36 No.2(1996)). w. <TC20003397> 登録タグ：登録されているタグはありません便利機能：エクスポート先選択エクスポート先を選択してください。このウインドウを閉じるレビューを見る詳細情報を見る書誌URL：

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kj00000120977.pdf

タイトル	ダイヤモンド薄膜における表面伝導層の形成モデル : 多結晶薄膜とホモエピタキシャル薄膜の比較
タイトル(その他)	Formation Mechanism of Surface Conductive Layer on Diamond Films Comparison between Polycrystalline and Homoepitaxial Films
作成者	李, 成奇 Ri, Sung Gi
作成者	秋葉, 幸男アキバ, ユキオ Akiba,Yukio
作成者	黒須, 楯生クロス, タテキ Kurosu, Tateki
作成者	飯田, 昌盛イイダ, マサモリ Iida, Masamori
公開者	東海大学工学部
公開者	School of Engineering, Tokai University
公開者	東海大学出版会
掲載巻号	東海大学紀要. 工学部. Vol.36 No.2(1996) <TB20000292>
ISSN	24343633
雑誌名	東海大学紀要. 工学部
巻次等	36
号	2
開始終了ページ	15-20
発行日	1997.03.31
主題	diamond films
主題	hot filament CVD
主題	p-type surface conductive layer
主題	hydrogen terminated surface
主題	acid vapor
資料種別(NIIタイプ)	紀要論文
フォーマット	PDFファイル