WebOPAC Local書誌詳細

書誌詳細

	厚いポーラスシリコンにおけるフォトエッチング効果安森, 偉郎; 岡田, 工; 崔, 一煐; 佐藤, 洋一; 黒須, 楯生; 飯田, 昌盛, 1996.03.30. -- (東海大学紀要. 工学部. Vol.35 No.2(1995)). w. <TC20003353> 登録タグ：登録されているタグはありません便利機能：エクスポート先選択エクスポート先を選択してください。このウインドウを閉じるレビューを見る詳細情報を見る書誌URL：

厚いポーラスシリコンにおけるフォトエッチング効果安森, 偉郎; 岡田, 工; 崔, 一煐; 佐藤, 洋一; 黒須, 楯生; 飯田, 昌盛, 1996.03.30. -- (東海大学紀要. 工学部. Vol.35 No.2(1995)). w. <TC20003353> 登録タグ：登録されているタグはありません便利機能：エクスポート先選択エクスポート先を選択してください。このウインドウを閉じるレビューを見る詳細情報を見る書誌URL：

ページリンク
kj00000120921.pdf

タイトル	厚いポーラスシリコンにおけるフォトエッチング効果
タイトル(その他)	Effect of Photoetching on Thick Porous Silicom
作成者	安森, 偉郎ヤスモリ, ヨシオ Yasumori, Yoshio
作成者	岡田, 工オカダ, タクミ Okada, Takumi
作成者	崔, 一煐 Choe, Il-yong
作成者	佐藤, 洋一サトウ, ヨウイチ Sato, Yoichi
作成者	黒須, 楯生クロス, タテキ Kurosu, Tateki
作成者	飯田, 昌盛イイダ, マサモリ Iida, Masamori
公開者	東海大学工学部
掲載巻号	東海大学紀要. 工学部. Vol.35 No.2(1995) <TB20000290>
ISSN	24343633
雑誌名	東海大学紀要. 工学部
巻次等	35
号	2
開始終了ページ	55-61
発行日	1996.03.30
主題	thick porous Si
主題	photoetching effect
主題	UV irradiation
主題	quantum size effect
資料種別(NIIタイプ)	紀要論文
フォーマット	PDFファイル