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ESR法によるCVDダイヤモンド薄膜の評価

庄, 善之; 岩瀬, 満雄; 和泉, 富雄, 1995.10.30. -- (東海大学紀要. 工学部. Vol.35 No.1(1995)). w. <TC20003324>
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ESR法によるCVDダイヤモンド薄膜の評価

庄, 善之; 岩瀬, 満雄; 和泉, 富雄, 1995.10.30. -- (東海大学紀要. 工学部. Vol.35 No.1(1995)). w. <TC20003324>
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kj00000120886.pdf

書誌詳細

タイトル ESR法によるCVDダイヤモンド薄膜の評価
タイトル(その他) ESR of Diamond Films Deposited by CVD Method
作成者 庄, 善之
ショウ, ヨシユキ
Show, Yoshiyuki
作成者 岩瀬, 満雄
イワセ, ミツオ
Iwase, Mitsuo
作成者 和泉, 富雄
イズミ, トミオ
Izumi, Tomio
公開者 東海大学工学部
掲載巻号 東海大学紀要. 工学部. Vol.35 No.1(1995) <TB20000289>
ISSN 24343633
雑誌名 東海大学紀要. 工学部
巻次等 35
号 1
開始終了ページ 89-95
発行日 1995.10.30
主題 CVD-diamond film
主題 CVD
主題 ESR
主題 defect structures
資料種別(NIIタイプ) 紀要論文
フォーマット PDFファイル
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