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酸化すず導電薄膜の生成と高温における電気的特性

鈴木, 哲也; 沖村, 浩史; 真壁, 遼治, 1993.03.30. -- (東海大学紀要. 工学部. Vol.32 No.2(1992)). w. <TC20003193>
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書誌詳細

タイトル 酸化すず導電薄膜の生成と高温における電気的特性
タイトル(その他) Prepararion of SnO2 Thin Films and Their Electrical Properties at Elevated Temperature
作成者 鈴木, 哲也
スズキ, テツヤ
Suzuki, Tetsuya
作成者 沖村, 浩史
オキムラ, ヒロシ
Okimura, Hiroshi
作成者 真壁, 遼治
マカベ, リョウジ
Makabe, Ryouji
公開者 東海大学工学部
掲載巻号 東海大学紀要. 工学部. Vol.32 No.2(1992) <TB20000284>
ISSN 24343633
雑誌名 東海大学紀要. 工学部
巻次等 32
号 2
開始終了ページ 103-108
発行日 1993.03.30
主題 Tin oxide
主題 Metal oxide film
主題 Electrical property of thin film
主題 Refractory film
資料種別(NIIタイプ) 紀要論文
フォーマット PDFファイル