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書誌詳細

	CVD法及びPVD法で成膜した炭素膜のRaman散乱による構造評価若木, 守明; 藤間, 文朗; 奥山, 直樹, 1988.10.30. -- (東海大学紀要. 工学部. Vol.28 No.1(1988)). w. <TC20003018> 登録タグ：登録されているタグはありません便利機能：エクスポート先選択エクスポート先を選択してください。このウインドウを閉じるレビューを見る詳細情報を見る書誌URL：

CVD法及びPVD法で成膜した炭素膜のRaman散乱による構造評価若木, 守明; 藤間, 文朗; 奥山, 直樹, 1988.10.30. -- (東海大学紀要. 工学部. Vol.28 No.1(1988)). w. <TC20003018> 登録タグ：登録されているタグはありません便利機能：エクスポート先選択エクスポート先を選択してください。このウインドウを閉じるレビューを見る詳細情報を見る書誌URL：

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kj00000120516.pdf

タイトル	CVD法及びPVD法で成膜した炭素膜のRaman散乱による構造評価
タイトル(その他)	Structure Characterization of Carbon Films Deposited with CVD and PVD Methods by Raman Scattering
作成者	若木, 守明ワカキ, モリアキ Wakaki, Moriaki
作成者	藤間, 文朗フジマ, フミオ Fujima, Fumio
作成者	奥山, 直樹オクヤマ, ナオキ Okuyama, Naoki
公開者	東海大学工学部
掲載巻号	東海大学紀要. 工学部. Vol.28 No.1(1988) <TB20000275>
ISSN	24343633
雑誌名	東海大学紀要. 工学部
巻次等	28
号	1
開始終了ページ	217-230
発行日	1988.10.30
主題	Carbon film
主題	CVD
主題	PVD
主題	Raman scattering
主題	Composite structure model
主題	CO2 laser evaporation
主題	RF glow discharge
資料種別(NIIタイプ)	紀要論文
フォーマット	PDFファイル