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変調位相情報に注目した光学式近接センサの応用

増田, 良介, 1986.10.30. -- (東海大学紀要. 工学部. Vol.26 No.1(1986)). w. <TC20002923>
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書誌詳細

タイトル 変調位相情報に注目した光学式近接センサの応用
タイトル(その他) Application of Optical Proximity Sensor by Using Modulated Phase Information
作成者 増田, 良介
マスダ, リョウスケ
Masuda, Ryosuke
公開者 東海大学工学部
掲載巻号 東海大学紀要. 工学部. Vol.26 No.1(1986) <TB20000271>
ISSN 24343633
雑誌名 東海大学紀要. 工学部
巻次等 26
号 1
開始終了ページ 1-8
発行日 1986.10.30
資料種別(NIIタイプ) 紀要論文
フォーマット PDFファイル