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レーザー及びスパッタリングによって作製した機能性酸化亜鉛薄膜に関する研究

木下, 理裕. -- (博士学位論文 : 博士(工学) ;2018年度). w. <TD00000326>
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書誌詳細

タイトル レーザー及びスパッタリングによって作製した機能性酸化亜鉛薄膜に関する研究
タイトル(その他) レーザー オヨビ スパッタリング ニヨッテ サクセイ シタ キノウセイ サンカ アエン ハクマク ニ カンスル ケンキュウ
作成者 木下, 理裕
キノシタ, マサヒロ
Kinoshita, Masahiro
公開者 東海大学
本文リンク 内容の要旨
本文リンク 審査結果の要旨
本文リンク 全文
書誌構造リンク 博士学位論文 : 博士(工学)||ハクシ ガクイ ロンブン : ハクシ コウガク <TB00000001>2018年度
主題 酸化亜鉛
主題 液中レーザーアブレーション
主題 光学薄膜
主題 水晶微小天秤法
主題 半導体ガスセンサ
主題 ZnO
主題 Laser ablation in liquid
主題 Optical thin film
主題 QCM
主題 Semiconductor gas sensor
資料種別(NIIタイプ) 学位論文
著者版フラグ ETD
報告番号 甲第1069号
学位名 博士(工学)
学位授与年月日 2019.03.24
学位授与機関 東海大学
研究科 総合理工学研究科