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レーザー及びスパッタリングによって作製した機能性酸化亜鉛薄膜に関する研究
木下, 理裕. -- (博士学位論文 : 博士(工学) ;2018年度). w. <TD00000326>
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レーザー及びスパッタリングによって作製した機能性酸化亜鉛薄膜に関する研究
木下, 理裕. -- (博士学位論文 : 博士(工学) ;2018年度). w. <TD00000326>
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書誌詳細
タイトル
レーザー及びスパッタリングによって作製した機能性酸化亜鉛薄膜に関する研究
タイトル(その他)
レーザー オヨビ スパッタリング ニヨッテ サクセイ シタ キノウセイ サンカ アエン ハクマク ニ カンスル ケンキュウ
作成者
木下, 理裕
キノシタ, マサヒロ
Kinoshita, Masahiro
公開者
東海大学
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内容の要旨
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審査結果の要旨
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全文
書誌構造リンク
博士学位論文 : 博士(工学)||ハクシ ガクイ ロンブン : ハクシ コウガク <TB00000001>2018年度
主題
酸化亜鉛
主題
液中レーザーアブレーション
主題
光学薄膜
主題
水晶微小天秤法
主題
半導体ガスセンサ
主題
ZnO
主題
Laser ablation in liquid
主題
Optical thin film
主題
QCM
主題
Semiconductor gas sensor
資料種別(NIIタイプ)
学位論文
著者版フラグ
ETD
報告番号
甲第1069号
学位名
博士(工学)
学位授与年月日
2019.03.24
学位授与機関
東海大学
研究科
総合理工学研究科
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