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Study on the charge trapping phenomena in silicon carbonitride films for nonvolatile semiconductor memory applications

Ahmed Sheikh Rashel Al. -- (博士学位論文 : 博士(工学) ;2017年度). w. <TD00000264>
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書誌詳細

タイトル Study on the charge trapping phenomena in silicon carbonitride films for nonvolatile semiconductor memory applications
タイトル(その他) 不揮発性半導体メモリへの応用のためのシリコン炭窒化膜の電荷捕獲現象に関する研究
タイトル(その他) フキハツセイ ハンドウタイ メモリ エノ オウヨウ ノ タメノ シリコン タンチッカマク ノ デンカ ホカク ゲンショウ ニ カンスル ケンキュウ
作成者 Ahmed Sheikh Rashel Al
アハメド シャイク ラシェール アル
公開者 東海大学
本文リンク 内容の要旨
本文リンク 審査結果の要旨
本文リンク 全文
書誌構造リンク 博士学位論文 : 博士(工学)||ハクシ ガクイ ロンブン : ハクシ コウガク <TB00000001>2017年度
主題 nonvolatile memory
主題 silicon carbonitride
主題 charge centroid
主題 charge retention
主題 charge trap center
主題 不揮発性メモリ
主題 シリコン炭窒化膜
主題 電荷重心
主題 電荷保持特性
主題 電荷捕獲中心
資料種別(NIIタイプ) 学位論文
著者版フラグ ETD
報告番号 甲第1035号
学位名 博士(工学)
学位授与年月日 2017.09.21
学位授与機関 東海大学
研究科 総合理工学研究科