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物理気相蒸着により形成した有機薄膜の揮発性有機化合物(VOC)ガス吸着特性

大西, 康貴. -- (博士学位論文 : 博士(工学) ; 2016年度). w. <TD00000232>
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書誌詳細

タイトル 物理気相蒸着により形成した有機薄膜の揮発性有機化合物(VOC)ガス吸着特性
タイトル(その他) ブツリ キソウ ジョウチャク ニヨリ ケイセイシタ ユウキ ハクマク ノ キハツセイ ユウキ カゴウブツ VOC ガス キュウチャク トクセイ
作成者 大西, 康貴
オオニシ, ヤスタカ
Ohnishi, Yasutaka
公開者 東海大学
本文リンク 内容の要旨
本文リンク 審査結果の要旨
本文リンク 全文
書誌構造リンク 博士学位論文 : 博士(工学)||ハクシ ガクイ ロンブン : ハクシ コウガク <TB00000001> 2016年度
主題 真空蒸着
主題 スパッタリング
主題 ポリテトラフルオロエチレン
主題 反射防止膜
主題 水晶微小天秤
主題 Vacuum evaporation
主題 Sputtering
主題 Poly (tetrafluoroethylene)(PTEE)
主題 Anti reflection film
主題 Quartz crystal microbalance(QCM)
資料種別(NIIタイプ) 学位論文
著者版フラグ ETD
報告番号 甲第1010号
学位名 博士(工学)
学位授与年月日 2017.03.24
学位授与機関 東海大学
研究科 総合理工学研究科