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物理気相蒸着により形成した有機薄膜の揮発性有機化合物(VOC)ガス吸着特性
大西, 康貴. -- (博士学位論文 : 博士(工学) ; 2016年度). w. <TD00000232>
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物理気相蒸着により形成した有機薄膜の揮発性有機化合物(VOC)ガス吸着特性
大西, 康貴. -- (博士学位論文 : 博士(工学) ; 2016年度). w. <TD00000232>
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タイトル
物理気相蒸着により形成した有機薄膜の揮発性有機化合物(VOC)ガス吸着特性
タイトル(その他)
ブツリ キソウ ジョウチャク ニヨリ ケイセイシタ ユウキ ハクマク ノ キハツセイ ユウキ カゴウブツ VOC ガス キュウチャク トクセイ
作成者
大西, 康貴
オオニシ, ヤスタカ
Ohnishi, Yasutaka
公開者
東海大学
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内容の要旨
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審査結果の要旨
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全文
書誌構造リンク
博士学位論文 : 博士(工学)||ハクシ ガクイ ロンブン : ハクシ コウガク <TB00000001> 2016年度
主題
真空蒸着
主題
スパッタリング
主題
ポリテトラフルオロエチレン
主題
反射防止膜
主題
水晶微小天秤
主題
Vacuum evaporation
主題
Sputtering
主題
Poly (tetrafluoroethylene)(PTEE)
主題
Anti reflection film
主題
Quartz crystal microbalance(QCM)
資料種別(NIIタイプ)
学位論文
著者版フラグ
ETD
報告番号
甲第1010号
学位名
博士(工学)
学位授与年月日
2017.03.24
学位授与機関
東海大学
研究科
総合理工学研究科
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