タイトル
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Growth of Vanadium Dioxide Films on Conductive Layers by Inductively Coupled Plasma-Assisted Sputtering Method and Their Out-of-Plane Resistance Switching Characteristics
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タイトル(その他)
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誘導結合プラズマ支援スパッタ法による導電層上への二酸化バナジウム薄膜の成長と面直方向抵抗スイッチングに関する研究
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タイトル(その他)
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ユウドウ ケツゴウ プラズマ シエン スパッタホウ ニヨル ドウデンソウジョウ エノ ニサンカ バナジウム ハクマク ノ セイチョウ ト メンチョク ホウコウ テイコウ スイッチング ニ カンスル ケンキュウ
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作成者
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Mian, Md. Suruz ミヤ, モハメッド シュルズ
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公開者
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東海大学
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本文リンク
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内容の要旨
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本文リンク
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審査結果の要旨
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本文リンク
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全文
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書誌構造リンク
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博士学位論文 : 博士(工学)||ハクシ ガクイ ロンブン : ハクシ コウガク <TB00000001> 2016年度
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主題
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Vanadium dioxide
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主題
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Inductively coupled plasma-assisted sputtering method
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主題
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Insulator-metal transition
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主題
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Layered structure
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主題
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Self-sustainig oscillation phenomenon
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主題
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二酸化バナジウム
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主題
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誘導結合プラズマ支援スパッタ法
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主題
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絶縁体-金属相転移
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主題
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積層型デバイス
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主題
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自励発振現象
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資料種別(NIIタイプ)
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学位論文
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著者版フラグ
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ETD
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報告番号
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甲第999号
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学位名
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博士(工学)
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学位授与年月日
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2016.09.21
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学位授与機関
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東海大学
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研究科
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総合理工学研究科
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