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ダイヤモンド薄膜の表面に形成されたp型伝導層の電気特性およびガスセンサへの応用に関する研究

春田, 憲一. -- (博士学位論文 : 博士(工学) ; 2013年度). w. <TD00000045>
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ダイヤモンド薄膜の表面に形成されたp型伝導層の電気特性およびガスセンサへの応用に関する研究

春田, 憲一. -- (博士学位論文 : 博士(工学) ; 2013年度). w. <TD00000045>
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審査結果の要旨
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書誌詳細

タイトル ダイヤモンド薄膜の表面に形成されたp型伝導層の電気特性およびガスセンサへの応用に関する研究
タイトル(その他) ダイヤモンド ハクマク ノ ヒョウメン ニ ケイセイサレタ pガタ デンドウソウ ノ デンキ トクセイ オヨビ ガスセンサ エノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
作成者 春田, 憲一
ハルタ, ケンイチ
Haruta, Kenichi
公開者 東海大学
本文リンク 内容の要旨
本文リンク 審査結果の要旨
本文リンク 全文
書誌構造リンク 博士学位論文 : 博士(工学)||ハクシ ガクイ ロンブン : ハクシ コウガク <TB00000001> 2013年度
主題 ダイヤモンド薄膜
主題 ガスセンサ
主題 表面伝導層
主題 化学気相堆積
主題 Diamond Thin Films
主題 Gas Sensor
主題 Surface Conductive Layer
主題 Chemical Vapor Deposition
資料種別(NIIタイプ) 学位論文
権利関係 Based on "春田憲一, 木村英樹, 黒須楯生. 水素アニールされたダイヤモンドp型表面伝導層の酸化性ガスによる反応速度依存性. 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌). Vol.129, no.8, pp.259-264 (2009)" Copyright 〓電気学会 2009 http://dx.doi.org/10.1541/ieejsmas.129.259
権利関係 Based on "Kenichi Haruta, Hideki Kimura and Masafumi Chiba (2013). Carbonization of Si Surface Using Hot-Filament CVD Equipment and Characterization of the Char Layer. MRS Proceedings, 1511, mrsf12-1511-ee05-15" Copyright 〓 Materials Research Society 2013 http://dx.doi.org/10.1557/opl.2013.92
著者版フラグ ETD
報告番号 甲第901号
学位名 博士(工学)
学位授与年月日 2013.09.19
学位授与機関 東海大学
研究科 理工学研究科
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