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二硫化モリブデン添加によるTiN薄膜の低摩擦化

榊, 岳史; 神崎, 昌郎, 2006.09.30. -- (東海大学紀要. 工学部. Vol.46 No.1(2006)). w. <TC20003846>
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榊, 岳史; 神崎, 昌郎, 2006.09.30. -- (東海大学紀要. 工学部. Vol.46 No.1(2006)). w. <TC20003846>
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kj00004768765.pdf

書誌詳細

タイトル 二硫化モリブデン添加によるTiN薄膜の低摩擦化
タイトル(その他) Reduction in Friction of TiN Thin Film by Molybdenum Disulfide Addition
作成者 榊, 岳史
サカキ, タカシ
Sakaki, Takashi
作成者 神崎, 昌郎
コウザキ, マサオ
Kohzaki, Masao
公開者 東海大学工学部
掲載巻号 東海大学紀要. 工学部. Vol.46 No.1(2006) <TB20000311>
ISSN 24343633
雑誌名 東海大学紀要. 工学部
巻次等 46
号 1
開始終了ページ 61-66
発行日 2006.09.30
主題 Magnetron sputtering
主題 TiN-MoS_2 composite film
主題 Molybdenum disulfide
資料種別(NIIタイプ) 紀要論文
フォーマット PDFファイル
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