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AIN/AL2O3GHz帯SAWフィルタの試作とシミュレーション解析

若杉, 康高; 長谷部, 行紀; 松下, 考拓; 犬島, 喬; 進藤, 春雄; 小泉, 義晴; サンドゥー, アダルシュ, 2001.03.31. -- (東海大学紀要. 工学部. Vol.40 No.2(2000)). w. <TC20003650>
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AIN/AL2O3GHz帯SAWフィルタの試作とシミュレーション解析

若杉, 康高; 長谷部, 行紀; 松下, 考拓; 犬島, 喬; 進藤, 春雄; 小泉, 義晴; サンドゥー, アダルシュ, 2001.03.31. -- (東海大学紀要. 工学部. Vol.40 No.2(2000)). w. <TC20003650>
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kj00000121278.pdf

書誌詳細

タイトル AIN/AL2O3GHz帯SAWフィルタの試作とシミュレーション解析
タイトル(その他) Fabrication of AIN/AI2O3 GHz Band SAW Filter and Simulation Analysis
作成者 若杉, 康高
ワカスギ, ヤスタカ
Wakasugi, Yasutaka
作成者 長谷部, 行紀
ハセベ, ユキノリ
Hasebe, Yukinori
作成者 松下, 考拓
マツシタ, タカヒロ
Matsushita, Takahiro
作成者 犬島, 喬
イヌシマ, タカシ
Inushima, Takashi
作成者 進藤, 春雄
シンドウ, ハルオ
Shindo, Haruo
作成者 小泉, 義晴
コイズミ, ヨシハル
Koizumi, Yoshiharu
作成者 サンドゥー, アダルシュ
Sandhu, Adarsh
公開者 東海大学工学部
公開者 School of Engineering, Tokai University
掲載巻号 東海大学紀要. 工学部. Vol.40 No.2(2000) <TB20000300>
ISSN 24343633
雑誌名 東海大学紀要. 工学部
巻次等 40
号 2
開始終了ページ 43-48
発行日 2001.03.31
主題 SAW filter
主題 Piezoelectric thin film AlN
主題 MOCVD
主題 Photolithography
資料種別(NIIタイプ) 紀要論文
フォーマット PDFファイル
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