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簡易型低周波数スパッタリング装置によるエピタキシャルBaTiO3薄膜の製作と特性評価

竹村, 崇; 加納, 大幹; 竹渕, 政孝; 木村, 英樹; 飯田, 昌盛; 黒須, 楯生, 1999.10.30. -- (東海大学紀要. 工学部. Vol.39 No.1(1999)). w. <TC20003572>
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書誌詳細

タイトル 簡易型低周波数スパッタリング装置によるエピタキシャルBaTiO3薄膜の製作と特性評価
タイトル(その他) Preparation and Characterization of Epitaxial BaTiO3 Thin Films by Low Frequency Sputtering
作成者 竹村, 崇
タケムラ, タカシ
Takemura, Takashi
作成者 加納, 大幹
カノウ, タイカン
Kano, Taikan
作成者 竹渕, 政孝
タケブチ, マサタカ
Takebuchi, Masataka
作成者 木村, 英樹
キムラ, ヒデキ
Kimura, Hideki
作成者 飯田, 昌盛
イイダ, マサモリ
Iida, Masamori
作成者 黒須, 楯生
クロス, タテキ
Kurosu, Tateki
公開者 東海大学工学部
公開者 School of Engineering, Tokai University
公開者 東海大学出版会
掲載巻号 東海大学紀要. 工学部. Vol.39 No.1(1999) <TB20000297>
ISSN 24343633
雑誌名 東海大学紀要. 工学部
巻次等 39
号 1
開始終了ページ 67-71
発行日 1999.10.30
主題 Low frequency sputtering
主題 BaTiO3
主題 φ-scan
主題 Epitaxial growth
主題 Hysteresis
資料種別(NIIタイプ) 紀要論文
フォーマット PDFファイル