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炭素源溶液に水を混合して堆積したダイヤモンド薄膜の結晶性

額賀, 栄二; 木村, 英樹; 黒須, 楯生; 飯田, 昌盛, 1999.10.30. -- (東海大学紀要. 工学部. Vol.39 No.1(1999)). w. <TC20003571>
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書誌詳細

タイトル 炭素源溶液に水を混合して堆積したダイヤモンド薄膜の結晶性
タイトル(その他) The Crystallinity of Diamond Thin Films Fabricated with Water Mixed Carbon Solution
作成者 額賀, 栄二
ヌカガ, エイジ
Nukaga, Eiji
作成者 木村, 英樹
キムラ, ヒデキ
Kimura, Hideki
作成者 黒須, 楯生
クロス, タテキ
Kurosu, Tateki
作成者 飯田, 昌盛
イイダ, マサモリ
Iida, Masamori
公開者 東海大学工学部
公開者 School of Engineering, Tokai University
公開者 東海大学出版会
掲載巻号 東海大学紀要. 工学部. Vol.39 No.1(1999) <TB20000297>
ISSN 24343633
雑誌名 東海大学紀要. 工学部
巻次等 39
号 1
開始終了ページ 61-66
発行日 1999.10.30
主題 Water added diamond thin films
主題 Crystallinity
主題 Hot filament CVD method
主題 XPS
主題 SIMS
資料種別(NIIタイプ) 紀要論文
フォーマット PDFファイル